مقاله فیلتر میان گذر بر اساس یک رزوناتور چنگال تیونینگ (چنگال کوک) دو سر CMOS-MEMS (سال 2009 الزویر)

1-مقدمه

2-توصیف و تولید رزوناتور

3-بحث و نتایج آزمایشی

4-نتیجه گیری

This paper presents a single Double-Ended Tuning Fork (DETF) MEMS resonator-based band-pass filter fabricated on a commercial standard CMOS technology. The accurate design of this resonator demonstrates the ability to perform filtering without the need of coupling multiple resonators. The main characteristic is to define the out-of-phase mode resonance frequency of the DETF smaller than the in-phase mode frequency. The electrical characterization shows that this stand-alone band-pass filter presents a 44.4MHz central frequency with a 0.6% bandwidth in air.

این مقاله به بررسی یک فیلتر میان گذر مبتنی بر دیاپازون MEMS چنگال کوک دو سر در فناوری CMOS استاندارد تجاری می پردازد. طراحی دقیق این رزوناتور حاکی از قابلیت انجام فیلترینگ بدون نیاز به کوپلینگ رزوناتور های مختلف می باشد. ویژگی اصلیف تعریف فرکانس روزنانس حالت غیر فازی DEFT کوچک تر از فرکانس حالت درون فازی است. تعیین مشخصات الکتریکی نشان می دهد که این فیلتر میان گذر تک پایه می باشد که دارای فرکانس مرکزی 44.4 مگاهرتز با پهنای باند 0/6 درصد در هوا است.